◆Tương thích với đo khoảng cách xa/gần
◆Có thể bỏ qua ảnh hưởng của độ nhám bề mặt của vật thể được phát hiện
◆Quét dòng hỗ trợ
◆Hỗ trợ phát hiện đặc tính điện
◆Độ chính xác của phép đo không bị ảnh hưởng bởi ánh sáng và nhiệt độ xung quanh
◆ Thay đổi dịch chuyển có độ chính xác cao
◆ Mức chất lỏng/mức vật liệu
◆ độ dày màng
◆ độ dày lớp phủ
Độ dày phát hiện THz | Đo độ dày bằng laser | Đo độ dày tiêu điểm quang phổ | |
---|---|---|---|
Bị ảnh hưởng bởi môi trường | Không bị ảnh hưởng bởi ánh sáng và nhiệt độ | dễ bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ | dễ bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ |
Phạm vi khác nhau | Tương thích với đo khoảng cách xa/gần | Phạm vi đo khoảng cách/độ dày hẹp | Chỉ hỗ trợ đo điểm đơn |
Ảnh hưởng của độ phẳng | Ảnh hưởng của độ nhám bề mặt là không đáng kể | Độ nhám bề mặt có tác động lớn hơn đến độ chính xác | Độ nhám bề mặt có tác động lớn hơn đến độ chính xác |
quét dòng | ủng hộ | không hỗ trợ | không hỗ trợ |
Phát hiện đặc tính điện | ủng hộ | không hỗ trợ | không hỗ trợ |